半導體職位 EP4 晶圓廠製程相關

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晶圓廠工程師職務說明,你所不知道工程師職務細節 (上)

一般在科技版口中,你會聽到製程整合/製程/設備工程師,這的確是很粗的分類,但是只是分成這樣嗎?其實不是的。半導體整段製程是很複雜的,除了生產外,其實他還有量測/缺陷檢查,甚至是半導體黃光光罩(Photo Mask)都有要人負責設計,甚至做品管。讓我看看除了傳統劃分的工程師職務,還有哪一些?

1.製程整合部 (Process Integration): 會分成帶貨整合(Lot owner)工程師,還有負責電性(WAT, CP)的整合工程師,但是帶貨的需求是比較大,所以比較少聽到整合負責WAT的工程師,他們主要負責在工程部確認晶圓的WAT結果,算是製程整合部的支援部,當然還是以Loop端為大宗。

2. 缺陷工程部: (Defect team): 大部分主要是做生產線缺陷確認的,並且是判 斷是由哪一段製程出問題,因此特別招製程工程師討厭。但缺陷工程師其實也有矛盾,找的Process owner (PE)過少人去查,如果貨(lot)出問算是Defect team放的,找的Process owner (PE)過多人去查,大家就會推來推去。找誰去合作怎麼找也是這個組的壓力。這組又分成負責生產線端(loop)和開發缺陷偵測技術的,當然還是以Loop端為大宗。

3 量測工程部: (Metrology team): 主要負責線寬(CD, Critical dimension)確認,有問題告訴Process owner (PE), 由其是在先進製程端才特別重要的職缺

4. 光罩工程部 (Photo Mask team),有的叫做OPC(Optical proximity correction),主要負責光罩開發,還有確認光罩需要顯影的線路(Tape out pattern),由於曝光時光會出熱的問題,還有曝光極限(部分區域無法準確曝出),因此他們會去對光罩做模擬,還有做實驗批 (Engineer lot)去確認光罩無問題。

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